光刻流水线是一种高精度制造技术,主要用于半导体芯片的制造。它是一种自动化的生产线,包括原材料准备、光刻机、显影机、清洗机等多个工序。
在光刻流水线中,光刻机起着至关重要的作用,它能够将电路图案映射到光刻胶上,然后通过显影、清洗等工艺将电路图案转移到硅片上,最终形成芯片。
整个流水线需要高度的协调和精确的控制,以确保芯片质量和生产效率。